氮化硅技术发展:我国自80年代中期开始研究氮化硅技术。主要是研究减重效率高的结构氮化硅材料-多孔氮化硅材料,关于氮化硅复合材料的研究刚刚起步,多孔氮化硅复合材料材料组成体系的理论设计与试验设计相关研究很少,尚处于摸索阶段,氮化硅铁,受国内外相关研究资料较少的影响,这方面我国的研究一直处于相对落后地位,许多研究单位以及学者多把研究重点放在军工领域,生产氮化硅铁,而其它领域的应用研究基本尚处空白。
氮化硅其他应用:氮化硅还能应用到太阳能电池中。用PECVD法镀氮化硅膜后,不但能作为减反射膜可减小入射光的反射,而且,在氮化硅薄膜的沉积过程中,反应产物氢原子进入氮化硅薄膜以及硅片内,起到了钝化缺陷的作用。
氮化硅的技术发展:经过长期的努力,氮化硅铁生产工艺,直至1955年氮化硅才被重视,七十年代中期才真正的制得了高质量、低成本,有了广泛重要用途的氮化硅陶瓷制品。我国自80年代中期开始研究氮化硅技术。