扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散,济南扩散炉,可作元器件的烧结、退火、等工艺,真空扩散炉,具有应用范围广、安全可靠、控制精度高等特点。
扩散炉的控制部分包括:温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。扩散炉的系统控制部分有四个独立的计算机控制单元,分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分,是扩散/氧化系统的控制中心。扩散炉的辅助控制系统,包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。
真空扩散焊炉隔热屏有两层钼、四层不锈钢组成的全金属辐射屏结构。加热元件为宽钼带,沿前后左右四壁均匀布置,以保证炉温的均匀。压力装置有液压站、油缸、压头、称重传感器、压力控制器和压力支架组成,可实现油压保压、压力设定控制。电控系统采用PLC与可编程温度控制器的方式,实现全自动、半自动、手动三种控制方式,操作灵活。