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我国进口半导体设备的状况

2015 年我国进口半导体设备的进口数量及进口金额如表 2 所示。进口金额很大的前 5 类设备分别为等离子体干法刻蚀机、分步重复光刻机、全自动引线键合机、氧化/扩散炉和物理相沉积设备（PVD）。进口数量最多的前 5 类设备分别是全自动引线键合机、晶圆切割设备、IC 工厂专用自动搬运机器人、化学气相沉积设备（CVD）和等离子体干法刻蚀机[2]。

但是，近年来，随着我国 02 专项的集成电路重大装备研发及产业化项目的推进，有些设备如等离子体干法刻蚀机、先进封装光刻机、全自动引线键合机、物理相沉积设备（PVD）和化学气相沉积设备（CVD，包括PECVD）等国产设备已逐步进入国内集成电路大生产线量产使用。国产设备替代进口设备的进程正在逐步推进[2]。

图 2 展示了 2015 年 13 类进口设备的分布情况。

3  我国国产半导体设备业的发展状况

3.1．我国国产半导体设备业的销售收入、交货值和利润额

2016 年 9 月，在厦门举行的我国半导体设备年会上，中国电子专用设备工业协会公布了 2015 年我国半导体设备业发展的详细信息，并对 2016 年的情况进行了预估。

2015 年我国半导体设备业的产品结构如图 3 所示。其中，集成电路设备已占行业产品的主体，2015 年销售额为 22.92 亿元，占行业销售收入的 49%；太阳能电池片设备的销售额为 15.45 亿元，占行业销售收入的 33%； LED 设备的销售额为 5.86 亿元，FPC打样，占  12%；分立器件及其他设备的销售额为 2.94 亿元，仅占 6% 左右。

2013～2015 年我国各类半导体设备的销售收入及增长情况如表 3 所示。图 4 展示了2013～2015 年我国各类半导体设备销售收入的发展趋势。

3.2．我国进入生产线正式使用的国产高等半导体设备

2015 年，在我国国产半导体设备销售收入取得大幅增长的同时，一批高等

集成电路设备成功进入超大规模集成电路晶圆生产线和先进封装生产线正式量产使用。

表 4 列出了 2015 年进入超大规模集成电路晶圆生产线量产使用的有代表性的晶圆前道制造设备。表 5 列出了 2015 年进入集成电路先进封装生产线量产使用的有代表性的先进封装设备。

2015 年，随着国内 6 条高亮度 LED 国产化示范生产线建设，加快了国产 LED 芯片关键设备的发展进程。2015 年进入高亮度 LED 国产化示范生产线的有代表性的国产设备如表 6 所示。

2015 年，随着国内太阳能电池芯片生产线的改建和扩建，一批智能化、自动化的太阳能电池芯片制造新设备也进入太阳能电池芯片生产线，其中有代表性的设备如表 7 所示。

4  2016 年我国国产半导体设备的发展状况

据中国电子专用设备工业协会估测，2016 年我国国产半导体设备的销售收入达到 57 亿元，比 2015 年增长 20.8%，各类设备的销售规模及增长率如表 8 所示。由此可见，2016 年我国半导体设备制造业进一步加快发展。

总之，在国家科技重大专项02 专项和国家集成电路产业发展投资金额的大力支持下，2016 年又有多项研发的高等集成电路设备进入验证和验收程序，或者进入国内外主流集成电路生产线生产运营，国产集成电路设备销售收入又有 20.8% 以上的快速稳步增长。

与此同时，国内光伏产业在经历了 2012～2013 年大幅度调整的基础上，继续保持理性、健康发展。国家的“光伏扶贫”和“领跑者项目”等政策扶持措施已成为我国光伏市场新的增长点。光伏企业将通过进一步扩大产能和加快淘汰落后生产线设备来降低产品成本和提高企业效益，这给我国太阳能电池芯片设备制造厂商带来了新的发展机遇。

但在 2016 年，LED 市场受恶性竞争的影响，东莞FPC打样，导致业内多数企业亏损，行业投资减少，致使 LED 设备销售增长滞缓。估计到 2017 年将LED 市场调整到理性、有序发展轨道之后，LED 设备的销售情况会有所好转。

在“第十一届（2016 年度）中国半导体创新产品和技术”项目评选中，有 12 项国产半导体设备获得入选，如表 9 所示。

5  2016 年中国半导体设备五强企业

经中国半导体行业协会评选及公布的 2016 年中国半导体设备五强企业如表 10 所示。

6  结语

在中国国内，半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业。根据中国电子专用设备工业协会的估测，2016 年国产半导体设备的销售规模为57.0 亿元，同比增长 20%[3]。

近年来，在国内集成电路产业持续快速发展的带动下，国内半导体设备业呈现出高增长的势头。在国家科技重大专项 02 专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下，多种先进制造设备开始替代进口设备，在国内集成电路大生产线上运行和使用。

三好

1、管好：自觉遵守定人定机制度，按要求使用设备，别人的设备如不按要求，就不应使用。工具及附件要放置整齐并保管好，不使损坏和丢失。设备上的防护装置和线路管道要经常检查，保证完整而可靠。

2、用好：严格遵守操作规程和维护保养制度，对设备不超载使用、不大机小用、不带病运转、不在设备运转中变速和装卸工件，精心操作，力求防止事故发生。

3、修好：在维修工人帮助下，逐步掌握一般修理技术，能独立排除设备的小故障，参加设备的二级保养及大修总装和试车验收工作。

四会

1、会使用：熟悉设备结构，掌握设备的技术性能和操作方法，懂得加工工艺，合理地选择切削用量，做到正确使用设备。

2、会保养：正确地按润滑图表规定加油、换油，保持油路畅通和油线、油毡、滤油器清洁。认真清扫，保持设备内外清洁，无油垢，无锈蚀，FPC，达到“漆见本色铁见光”，认真做好日常保养，定期进行一级保养。

3、会检查：了解设备的精度标准和加工规范，会检查与加工工艺有关的设备异常状态。

4、会排除故障：能对不正常的声音、温度和运转情况进行分析，发现设备的异常状态，能采取措施，排除一般故障。参加设备的事故分析，查明原因，吸取教训，做出预防措施。

设备维护保养的“四项要求”

1、整齐

（1）工具、附件齐全，放置整齐，不准直接放在机床的导轨面上。工具箱、料架及加工件应摆放合理整齐。

（2）机床的防护装置及零件应齐全完整，各种标牌应完整清晰。

（3）各管道、电气线路应安装整齐、安全、可靠。

2、清洁

（1）内外清洁，FPC厂家，无黄袍、油垢、锈蚀，无铁屑杂物。

（2）各滑动面、三杠、齿轮、齿条无油垢。

（3）机床周围地面经常保持清洁，无积油、积水和切屑杂物。

3、润滑

（1）熟悉润滑图表，按时按质按量加油和换油，保持油标醒目。

（2）油箱、油池和冷却箱应清洁，无铁屑杂物。

（3）油壶、油枪、油孔、油杯、油线和油毡应保持齐全、清洁。

（4）油泵压力正常，油路畅通，各部位轴承润滑良好。

4、安全

（1）熟悉设备性能，遵守安全技术操作规程，防止人身和设备事故。

（2）按要求操作设备。

（3）遵守设备操作的“五项纪律”，懂得“三好四会”内容，并认真执行。

（4）电器线路接地可靠，绝缘良好，限位开关、挡铁安全可靠，信号仪表灵敏。

设备操作的五项原则1、必须按要求使用设备，严格遵守安全技术操作规程和工艺文件。

2、经常保持设备清洁，按润滑图表规定加油，做到不搞好润滑工作不开车，不搞好清洁工作不下班。

3、认真执行交接班制度，填好交接班及运转台时记录。

4、管好工具和附件，不得遗失。

5、不准在设备运行时离开岗位，发现故障应立即停车，自己不能处理的，应及时通知维修工人检修。

设备事故发生后，

必须遵循“三不放过”原则三不放过即事故原因分析不清不放过；事故责任者与群众未受到教育不放过；没有防范措施不放过。根据设备损坏程度、事故性质和经济损失，认真分析，严肃处理，并整理记录存入设备档案。