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从车间工艺段抽出的工艺废气首先进入有机废气器，在净化器内部废气经过多层活性炭纤维过滤吸附，voc有机废气处理设备，吸附净化后的废气在离心风机的作用下，经过排放烟囱达标排放，排放标准为GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级标准。

硅wan系统从PECVD工艺设备出来的废气主要为硅wan及氨气。gui烷是一种可燃性气体，并且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨气是一种可溶性气体，处理这些混合废气分两步走：先燃烧后喷淋吸收!

废气处理

经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量（如热能、光子能量等），可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，废气处理设备，即可使得化学键断裂，doc有机废气处理，形成游离的带有能量的原子或基团。在波长范围154nm-184.9nm（1200KJ/mol-600KJ/mol）高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭氧；另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气最终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、N2等。

由于与有机废气的燃烧本质一样，景德镇废气处理，都是通过分子吸收能量（燃烧吸收的热能，光解吸收的是光子能量）被裂解后氧化生成简单物质，而光解的反应温度为常温，故我们也习惯称其为“冷燃烧”。

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