技术数据 | TYFB-600复合分子泵 | ||
高真空法兰(mm) | 150CF | 160ISO-K | |
前级管道法兰(mm) | 40KF | ||
抽气速(L/S) | 600 | ||
压缩比 | N2 | >109 | |
H2 | >8×103 | ||
极限压强(Pa)帕 | <8×10-8<5×10-7 | ||
电机转速(n/min) | 24000 | ||
振动值 | ≤0.1μm | ||
启动时间(min) | <4.5 | ||
建议采用的前级泵 | 4—8 L/S | ||
冷却方式 | 水冷(风冷) | ||
风冷泵环境温度 | ≤25℃ | ||
水冷泵冷却水温度 | ≤20℃ | ||
水冷冷却水流量(L/min) | 1 | ||
泵体烘烤温度 | <120℃ | ||
加热器功率(W) | <550 | ||
加热器输入电压(V) | AC220 | ||
安装方向 | 垂直±5° | ||
泵重量(kg) | ≈29 |