千级无尘车间在设计上要考虑到以下几个问题:
1、维护性
对千级无尘车间而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。 至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最1重要的为天花板,其包含HEPA及 ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间。
2、成本
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。 许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 '钱' 将成为一个很重要的考虑因素。
3、适应性
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致1极大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键,所以他们从不将最1初的设计定型。
4、耐久性
无尘车间要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
5、清洗
无尘车间的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性1病毒或细菌的污染之特性。在净化工程市场,洁净车间施工,清洗真正地是一个最1重要的企业。
无尘车间洁净室气流流型的设计应符合下列规定:1、无尘车间洁净室的气流流型和送风量应符合下表所示的要求,空气洁净度等级要求严于4级时,应采用单向流,空气洁净度等级为4级-5级时,应采用单向流,空气洁净度等级为6级-9级时,应采用非单向流。2、无尘车间洁净室工作区的气流分布应均匀3、无尘车间洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求