1、反渗透设备简介
反渗透设备是将原水经过精细过滤器、颗粒活性碳过滤器、压缩活性碳过滤器等,再通过泵加压,超纯水设备,利用孔径为1/10000μm(相当于大肠杆l菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离,从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准,产出至清至纯的水。
超纯水技术在半导体行业的应用
预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分,主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制,一般>5,不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1),能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大,而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小,节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比,超滤装置的更换比较方便。(4)近年来,由于超滤技术的不断成熟,系统能够稳定安全地运行,而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低,在一次性投资和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。
超纯水设备中气泡的去除方法
活性炭。活性炭具有很强吸附情,在源水经过活性炭时,除了能吸附微粒子等,还能吸附气体,在工业生产中也常常采用活性炭除臭。活性炭有很多种,很好的活性炭是果壳活性炭,含碳量高,肯吸附性强。在超纯水设备的活性炭成为了去除气体的第l1关。除此之外,超纯水设备还有更高l级的去除气体的环节,不同的厂家采用不同的方式去除。