蒸发电极金属退火
蒸发电极金属以后需要进行退火,使得半导体表面与金属能够形成合金,以接触良好(减小接触电阻)。这时的退火温度要选取得稍高于金属-半导体的共熔点(对于Si-Al合金,为570度)。 ?
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介质中产生应力腐蚀。当合Ni量达到8一10时奥氏体不锈钢应力腐蚀倾向性
继续增加 含Ni量至4550应力腐蚀倾向逐渐减小直至消失。 防止奥氏体不锈钢应
力腐蚀的主要途径是加入Si24并从冶炼上将N含量控制在0.04以下。此外还应
尽量减少P、Sb、Bi、As等杂质的含量 。另外可选用A-F双用钢它在Cl-和OH-介质中对
应力腐蚀不敏感。当初始的微细裂纹遇到铁素体相后不再继续扩展体素体含量在6%左右。
一般以提高金属的耐磨性为主要目的,因此需要获得高的表面硬度。它适用于38CrMoAl等渗氮钢。渗氮后工件表面硬度可达HV850~1200。渗氮温度低,工件畸变小,可用于精度要求高、又有耐磨要求的零件,如镗床镗杆和主轴、磨床主轴、气缸套筒等。但由于渗氮层较薄,不适于承受重载的耐磨零件。
气体渗氮可采用一般渗氮法(即等温渗氮)或多段(二段、三段)渗氮法。前者是在整个渗氮过程中渗氮温度和氨气分解率保持不变。温度一般在480~520℃之间,氨气分解率为15~30%,保温时间近80小时。这种工艺适用于渗层浅、畸变要求严、硬度要求高的零件,崂山热处理,但处理时间过长。多段渗氮是在整个渗氮过程中按不同阶段分别采用不同温度、不同氨分解率、不同时间进行渗氮和扩散。整个渗氮时间可以缩短到近50小时,能获得较深的渗层,但这样渗氮温度较高,畸变较大。