电镜测试-九鼎-电镜透射测试

扫描电镜成功进入先进制造领域

首先，电镜的分辨率是一项重要的参数， 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率，能够为客户提供高质量的电子图像；

其次，电镜测试，电镜配置有双探头，能够呈现背散射图像和二次电子图像，为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像，满足不同的成像需求；

其三， 电镜对样品的导电性要求非常宽松，即使是不导电的样品，也可直接进行观察而不需喷金，这就大大扩宽了电镜的测试能力，为上述多类生物样品的观察创造了机会 ；

其四，台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间，可一次放置36个直径为半英寸的样品台，电镜透射测试，大幅提升测试效率。

全自动扫描电镜对样品的要求

1、试样在高真空中能保持稳定；

2、表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干。新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或断面的结构状态；

　　有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀，电镜测试哪家好，才能暴露某些结构细节，电镜测试分析，则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，然后烘干。

3、全自动扫描电镜用的试样大小要适合仪器样品座的尺寸，不能过大，样品座尺寸各仪器不均相同，以分别用来放置不同大小的试样，样品的高度也有一定的限制。

高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器

　高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。

　　真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求，需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子的SEM上，电磁透镜*。