洁净室用途主要有以下三个:
空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,实验室净化工程,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
对于无尘车间面积小,较分散;对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下,适合采用分散式空调净化系统。其优点是投资费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例,分析讨论如下。
??风热湿比线占。
??②根据房间余热量Q或余湿量W,按净化级别所要求的通风量G,确定在占线上的送风状态点S。Q-G(iN -/S)。
??③过S点作等d线,并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸,一般情况At的值不大于1℃,根据温升量出,在过S的等d线确定c-,使At= ts - tc’。
??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。,确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
??QK/GK=△f=iN -/K ?。
??以N点为圆心,以iN -/K值为半径画弧线与。=90%~95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
净化车间技术对我国电子信息产业发展意义重大,因为它与产品的成品率有着直接关系。电子行业对生产环境的要求非常高,特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感,因为它们能引起金属层之间的短路。因此建设电子厂净化车间是非常有必要的。
??目前由于国际上大型电子企业纷纷到中国建厂,建设电子厂净化车间的需求也随之增加,中国的净化车间企业也快速发展。随着我国工业发展的日益高科技化,产品日益精密化、微型化,对洁净环境的依赖也越来越强,电子厂净化车间在我国存在着巨大的市场空间。