光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求,不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求,空气净化工程,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99。97~99。99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
食品工业中主要应用的是以控制空气中的尘粒、微生物污染为目的的生物洁净室技术,在保1健品、饮用水、即食食品等的生产中应用较多。一些卫生要求高的生产工段如加工、操作、包装等,也开始应用洁净间技术。净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,(21世纪)在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。
主要应用于电子工业,这是目前对净化工程要求高的环境,集成电路要求的精度要达到亚微米。按照行业分类食品行业:现代人的食品意识日益提高,为了确保食品,必须把微生物含量控制在合理范围内。印刷包装净化车间:食品包装和药品包装对空间环境的温湿度、空气中的微尘粒子数量、水质质量方面要求都很高,直接影响到产品质量和合格率。