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电子束平版印刷术是一种分辨率小于一毫米的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有,电子束在固体内很快就会散开,很难维持聚焦。后这缺点限制住分辨率不能小于10nm。因此,电子束平版印刷术主要是用来制备少数量特别的集成电路。
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在程序段中,必须明确组成程序段的各要素:移动目标:终点坐标值X、Y、Z;沿怎样的轨迹移动:准备功能字G;进给速度:进给功能字F;切削速度:主轴转速功能字S;使用刀具:刀具功能字T;机床辅助动作:辅助功能字M。
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汤姆逊采用1891年乔治·斯托尼所起的名字——电子来称呼这种粒子。至此,电子作为人类发现的个亚原子粒子和打开原子的大门被汤姆逊发现了。100多年前,当美国物理学家Robert Millikan通过实验测出电子所带的电荷为1.602×10-19C后