电子超纯水设备 工业超纯水设备 超纯水设备

1   范围

    本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.

本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．

2   引用标准

    下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．

  GB/T 11446.3——1997  电子级水测试方法通则

  GB/T 11446.4——l997  电子级水电阻率的测试方法

  GB/T 11446.5——1997  电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

  GB/T 11446.6——1997  电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

  GB/T 11446.7——1997  电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法

   GB/T 11446.8——1997  电子级水中总有机碳的测试方法

   GB/T 11446.9——1997  电子级水中微粒的仪器测试方法

   GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

3  定义

    本标准采用下列定义．

3.1电子级水electronic grade water

    制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．

3.2电阻率resistivity

    在规定温度下,1 cm?水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．

3.3全硅total silicon

    水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．

3.4可溶性硅soluble silicon

    以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．

3.5微粒性物质granular matter

    除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．

3.6总有机碳(TOC)  total organic carbon

水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

3.7吸附absorption

    某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

3.8凝聚coagulation

    在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

3.9絮凝flocculation

    水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。

3.10砂滤器sand filter

    用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

3.11  活性碳过滤器activated carbon filter

    装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

3.12离子交换ion exchange

    一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化．

3.13去离子水deionized water

    经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。

3. 14再生regeneration

    离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

3.15复合床complex bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。

3.16混合床mixed bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦．

3.17电渗析electrodialysia

    一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反．这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

3.18反渗透reverse  osmosis

    亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的．

3.19反渗透膜reverse osmosis membrane

    用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0. 02 ?m或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。

3. 20微孔膜滤器membrane filter  

  一种平均孔径（直径）大于0. Ol?m的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

3.21超过滤uhrafihration

  一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等．

3.22终端terminal

  高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。

4  分类

4.1电子级水分为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

4.2标记

    I级电子级水标记为：EW-I；

    I级电子级水标记为；EW-Ⅱ；

    I级电子级水标记为；EW-Ⅲ；

Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。

5   要求

    电子级水的技术指标应符合表1的规定。

表1  电子级水的技术指标

6试验方法

6.1电阻率

    电子级水的电阻率按GB/T 11446.4--1997的测试方法进行测定．

6.2全硅含量（以二氧化硅计）

    电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按GB/T 11446.6--1997的测试方法进行测定。

6.3微粒数

    电子级水中微粒数按GB/T 11446.9--1997的测试方法进行测定．

6.4细菌总数

    电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10--1997的测试方法进行测定。

6.5痕量金属含量

    电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446. 5--1997的测试方法进行测定。

6.6氯离子，硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

    电子级水中氯离子、硫酸根离子、硝酸根离子、磷酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7--

1997的测试方法进行测定．

6.7总有机碳含量

电子级水中总机碳含量按GB/T 11446.8--1997的测试方法进行测定。

7   检验规则

7.1检验部门

    电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行．

7.2检验分类

    电子级水的检验分为交收检验和例行检验．

7.3交收检验（抽验项目）

7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。

7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项指标不

合格，应提出改进措施直到水质合格。

7.4例行检验（全检项目）

    例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求．

7.4.2在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格．