一、 技术特点
1、洁净真空环境
真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷,并经过严格的超高真空抛光、去油、除气处理,保证腔体及炉内材料洁净无油,保证对处理产品无污染,影响产品性能。
2、均温性优
多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计,使炉温均匀性能在±5℃以内;
3、追溯性及严谨性
标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。
4、真空度优
设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合,采用分子泵加机械泵组合,清洁无油,不会出现扩散泵的返油现象,保证真空室及处理材料的洁净度。无需扩散泵的预热环节,启动时间快,真空获得时间短,大大提升生产效率。
5、压升率极低,控制在1pa/h以内
是否能将压升率做到极低的值是衡量真空技术水平的关键指标,对热处理产品质量及表面美观有直接影响,炉壳为全不锈钢材料,焊缝严格检漏,密封原件采用进口产品,并经特殊处理,保证将压升率控制在1pa/h以内,远超真空炉国内标准。
二、设备主要参数
序号 | 项 目 | 参 数 | 单位 |
1 | 炉型 | 卧式 | / |
2 | 控制方式 | PLC+人机界面 | / |
3 | 抽气机组 | 分子泵+机械泵 | / |
4 | 电源要求 | 3相 380/220V 50Hz | / |
5 | 总功率 | 45 | kw |
8 | 使用材质 | 炉体及法兰为304L材料 | / |
加热器为钼镧合金 | / | ||
隔热屏为钼镧合金加不锈钢 | / |
三、主要技术指标
序号 | 项 目 | 参 数 | 单位 |
1 | 加热区尺寸 | 600*390(L×?)(根据材料摆放) | mm |
2 | 工作区尺寸 | 400*200*200(L×W×H) | mm |
3 | 工作温度 | ≤1500 | ℃ |
4 | 极限温度 | ≤1600 | ℃ |
4 | 均温性 | ±5(900℃,保温60分钟后测量) | ℃ |
5 | 控温精度 | ±1 | ℃ |
6 | 极限真空度 | 1.33*10-4(空炉、冷态、经净化) | Pa |
9 | 系统抽速 | 主抽阀开启后20min内(1atm到1×10-3Pa) | Pa |
10 | 升温速率 | ≤20℃/min | ℃/min |
11 | 温度测量 | 一点控温、一点金属屏温度监控,预留电极法兰口,用于温场测量 | / |
四、加热系统
1、加热区尺寸:600*390mm(L×?)
2、加热功率:32KW
3、加热元件:钼镧合金
4、隔热组件:钼镧合金+不锈钢
5、温度测量:B型热电偶
6、控温精度:±1℃
7、升温速率 MAX:由室温升至1000℃小于90min(空炉) 建议10℃/min,最快≤20℃/min
8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用优质99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。
9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30段升温曲线,存贮多组工艺配方,组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。
五、真空系统
1、真空配置: 一台复合分子泵(微行标配)、一台旋片机械泵(微行标配);
2、极限真空:≤1.33*10-4Pa(空载、冷态、经净化);
3、工作真空:≤6.67*10-3Pa;
4、真空测量: 复合真空计ZDF5227A测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa
5、真空机组功率:4 Kw
6、优点:效率高、无污染、低能耗、低噪音。
7、压升率:1Pa/h
六、气路系统:
降温气氛:高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、压力变送器、电接点压力表组成。充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气,超压时可自动排压。带有一路手动,用于充气保护。
七、水冷系统:
真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位,采用闭式水循环系统,每个电极冷却均配有水流量观察仪,主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上,以备停电时紧急使用。
八、安全系统:
安全系统包括:氢气检露报警,氢气尾气处理,停水、驱动气欠压、超温、加热过流、旋片泵、分子泵,设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。