1、进入洁净室之前,预先清洁仪器、人员以及零件; 2、用可控的多级压力、温度和湿度控制装置密封建筑; 3、HEPA过滤; 4、增强工艺以减少颗粒/沉淀物的产生; 5、保护性外衣; 6、清洁; 7、双门配置将相邻的空间分开,包括运送和接收区域。 在将关键空间设计为分级的洁净室是合理的。
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