半导体退火炉 硅片退火炉 青岛晨立 退火炉 半导体退火炉 硅片退火炉 青岛晨立 高真空退火炉
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产品详情（青岛市半导体退火炉 硅片退火炉 青岛晨立 高真空退火炉厂家）
品牌：
其他
型号：
cl
加工定制：
是
形式：
电动
电源电压：
380
关键词：青岛市半导体退火炉 硅片退火炉 青岛晨立 高真空退火炉厂家
产品参数
品牌：其他 型号：cl 加工定制：是 形式：电动 电源电压：380 炉管数：1-4 硅片尺寸：圆形6寸片
产品特点
一、设备结构: 1、操作方式:左(右)手操作方式 2、硅片尺寸:圆形6寸片 3、工艺布局:满足客户工艺要求 4、外形:主机1台，主机架为卧式两管。 5、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程 6、送取片方式:手动进出舟。 二、主要技术参数: 1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。 2、工作温度范围:上管:600~1400℃ 下管:200~500℃ 3、恒温区长度及精度:600mm， 上管:800-1400℃.±0.2℃/24h 下管:200-500℃.±0.2℃/24h 4、控制方式:由工控机统一管理工艺 5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。
产品实拍
(青岛市半导体退火炉 硅片退火炉 青岛晨立 高真空退火炉厂家)
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