t | 单位 | KGPS-100 | KGPS -160 | KGPS -200 | KGPS -250 |
坩埚有效容积 (直径×高) | mm | Φ200×300 | Φ450×700 | Φ550×700 | Φ650×750 |
中频电源功率 | Kw | 100 | 160 | 200 | 250 |
中频电源频率 | Hz | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
最高工作温度 | ℃ | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
极限真空度 | Pa | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 |
压升率 | Pa/h | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
恒温区温差 | ℃ | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |