操作参数 | 单位 | 范围 |
HT 铜保护剂 | %(v/v) | 20% |
温 度 | ℃ | 25-45 |
pH | | 3.3-3.5 |
浸渍时间 | 秒 | 30-90 |
| 最 大 | 最 小 | 最 适 |
有效成份含量 | 110 % | 80 % | 100 % |
pH值 | 3.3 | 3.5 | 3.4 |
膜层厚度(微米) | 0.5 | 0.2 | 0.35 |
微蚀深度 | 1.5um | 0.8um | 1.2um |