如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,电子净化车间,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,洛阳净化公司,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净室施工
一般规定
1 、承担洁净室及相关受控环境(以下简称洁净室)施工的单位应按照本规范的相关规定,千级净化车间,建立质量管理体系。
2 、施工单位应编制施工组织设计,并应根据本规范附录A的内容,净化车间,制定具体工程的施工程序,按程序对施工全过程实行质量控制。
3、 施工过程中,严禁违反设计文件擅自改动系统、参数、设备选型、配套设施和主要使用功能。严禁不执行本规范强制条文的规定。当修改设计时,应经原设计单位确认、签字,并得到建设单位的同意,在通知监理方之后执行。