5、在半导体电子洁净车间装修建筑装饰施工过程中,
必须随时清扫灰尘,对隐蔽空间(如吊顶和夹墙内部等),还应做好清扫记录。
6、密封胶嵌固前,应将基槽内的杂质,油污剔除干净,并保持表面干燥。
7、半导体电子洁净车间临时设置的设备入口不用时应封闭,百级净化单元,防止尘土杂物进入。
8、施工现场应保证良好的通风和照明,对于改建工程,应查明和切断原有电源及易燃,百级净化单元,
易爆和有毒气体管线后方可施工,对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。
一、安装的条件、环境及安装人员的服饰要求
1、安装时洁净室内必须已经密闭,新风空调送洁净风需 3天左右,且室内保持清洁,无粉尘,所有龙骨已经安装并调平。
2、安装人员须配备洁净衣、洁净手套以防止人为的污染 FFU箱体及过滤器。
3、建议每组安装人员数量为6人。
二、FFU箱体与高xiao过滤器的安装
由于高xiao过滤器使用超细玻璃纤维滤纸,百级净化单元企业,滤料容易折断损坏而造成泄漏。故搬运,拆包装,安装过程
中不得摔倒或碰撞过滤器,严禁作业人员手指或其他物体接触过滤器滤料。