cvd化学气相沉积设备-拉奇纳米-化学气相沉积设备

冷水机能控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、高效率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。

专业从事各种真空镀膜设备制造，致力于研发和生产真空镀膜机，为客户提供定制化的真空镀膜工艺解决方案和镀膜设备，产品通过多个国内外认证，已出口几十个国家，深受国内外用户好评，欢迎广大顾客来电咨询

玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的专业设备，镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空，生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜，保持高真空环境是玻璃镀膜设备的基本条件。

玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成，等离子化学气相沉积设备，采用电气程序全自动控制。

玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，化学气相沉积设备，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。

如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢？本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。

首先，必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，装好泵胆，金属化学气相沉积设备，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。