电子束蒸发镀膜设备报价-沈阳鹏程-昆明电子束蒸发镀膜设备

电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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电子束镀膜有哪些特点？

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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；

★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；

★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；

★ 更优的薄膜均匀性和重复性，电子束蒸发镀膜设备哪家好，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；

★ 可沉积金属（Au， Ag， Al， Ti， Pt，电子束蒸发镀膜设备报价， Mo， Fe，昆明电子束蒸发镀膜设备， Cr， Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。

电子束镀膜机的特点/用途介绍

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产品特点/用途：

?设备一体化设计，占地面积小，性能稳定，性价比高，使用维护成本低；

?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；

?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。