泰州电子束蒸发镀膜机-电子束蒸发镀膜机厂家-沈阳鹏程

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* PC全自动控制，具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

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电子束蒸发镀膜机安装介绍

安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。

机架：碳钢制作，表面喷塑处理，不锈钢面板，电子束蒸发镀膜机价格，支撑真空腔体及真空系统，底下配脚轮，方便移动、定位。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验，电子束蒸发镀膜机厂家，专注电子束产品研发定制与生产，先进的电子束产品生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，电子束蒸发镀膜机报价，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的热线电话！！！

电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，泰州电子束蒸发镀膜机，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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