电子束蒸发镀膜机-沈阳鹏程真空技术公司

电子束镀膜设备介绍

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电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。

电子束镀膜与电阻镀膜的区别

电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，电子束蒸发镀膜机哪家好，因此蒸镀的速率也更快；电子束定位准确，电子束蒸发镀膜机厂家，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构 。

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电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，电子束蒸发镀膜机报价，杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* PC全自动控制，具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

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