供应氮气净化晟宇氩气净化机
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供应氮气净化晟宇氩气净化机

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¥40,000.00 买方承担运费
苏州市

苏州晟宇气体设备有限公司

百应会员
第  14  年
产品详情(苏州市氮气净化晟宇氩气净化机厂家)
高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等
氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求,赢得客户的满意和市场的需求。
由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,但使用氩气的客户确不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。一般 O20.2ppm,水分<1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。
 氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。全自动氩气纯化装置,具有触摸面板一键式启动、停止工作,操作简单明了。装置工作设有两组工作组,交替工作,循环使用。其中一组工作,另一组再生冷却备用。工作组工作无需加热,为常温工作。对应面板触摸屏可查看设备组成硬件、操作简介、观察、监视工作组工作状态、再生组再生状态、工作组工作时间、切换时间、设备总工作时间、再生加氢及加热时间和报警信息状态。
 
全自动氩气纯化装置特点:
 
1.       设备外形色彩喷漆为乳黄色,采用烤漆形式,美观耐用,填装净化材料容器内壁做表面处理。
2.       选材优良,氩气流经阀门,管道选用316材质,彻底解决气源重复污染,纯气出口管路采用BA级,保证纯气的洁净如一。
3.       严格的质量控制,在制作过程中,邀请需方作全过程跟踪督察。
4.       进出口微氧分析仪在线监测,直观显示原料气体氧含量及纯化后的氧气含量。
5.       纯气最终过滤系统一用一备,更具人性化,彻底解决无故障运行顾虑。
6.       加氢还原系统采用质量流量计控制,真正做到定时定量全自动运行。
7.       一键式启动设备,工作状态实时显示,操作简单、安全、明了。
 
 
 
设备工作原理
 
设备工作设有两组工作组,填装的净化材料属于可再生重复利用材料。原料液氩经汽化器汽化后由设备工作进口进入设备一组工作组,经脱氧剂、分子筛及精密高效过滤器后送出至工作点使用。一组工作组负荷饱和后,切换到另一组工作组工作,保证为使用点连续的提供高纯氩气。同时一组工作组开始再生加热加氢反吹洗(本系统加氢是为了还原脱氧剂,加氢结束后设备自动吹洗并直接放空),为等待下一次切换使用做好准备。
装置工作为常温工作,脱氧程度深、碳水含量低,均可达到并高于GB高纯氩气标准。
主要技术条件
1 处理气量                         2-320Nm3/h
2 工作压力                         0.8Mpa
3 原料氩气纯度                     99.999%
4 纯化后                         O2 0.2ppm  CO+CO20.3ppm
CH40.2 ppm    H2O1ppm
5 耗氢量                            0.4m?/h(再生6小时
5 电源电压                          380V  50HZ
6 装机功率                          22.5KW   (再生6.5小时)
7 冷却水用量                        1m?/h   (水温应<30
8 需提供压缩空气压力               0.4Mpa  (干燥无杂质)
9 设备外形                          2300x1800x2300mm
 

(苏州市氮气净化晟宇氩气净化机厂家)
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