电子束蒸发镀膜设备报价-开封电子束蒸发镀膜设备-沈阳鹏程

电子束蒸发镀膜的优势

电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。

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电子束蒸发镀膜机产品介绍

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产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：E型，带XY偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，17cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，电子束蒸发镀膜设备公司，一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动+半自动控制

电子束镀膜属于蒸镀还是溅射？

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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积（PVD）的工艺方法。

2.蒸发镀主要包括：电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。

3.您所说的E型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。

4.S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴极靶材为环状锥形，安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场，电子束蒸发镀膜设备报价，其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动，电子流密度很大，在靶面附近产生很强的非弹性碰撞，电离几率很大，形成很强的等离子体。