真空/气氛管式硒化炉
型号:RG-3-8
一、 主要技术参数
1、 管内加热方式:真空管内采用两区域内加热方式:1区采用可调节功能的加热灯加热固态硒源,最高加热温度:250℃;2区采用钼加热器加热预制层薄膜,最高温度800℃,可实现程序控温,控温精度达±2℃。
2、 炉壁加热方式:炉壁采用电阻丝加热, 使用温度250℃,可实现程序控温,控温精度达±2℃。
3、额定功率: 3 Kw±10%。
4、电源: 三相 380V 50Hz。
5、工作区尺寸: Φ100×600 mm(直径×长)。
6、保护气氛: 氩气。
7、充气压力: ≤500 Pa。
8、冷态极限真空度: 6.67×10-3 Pa(在100℃温度以下允许抽真空)。
9、压升率: 2.0 Pa/h。
10、控温区数: 3区。