北京厂家定制立式真空扩散炉

一、 立式真空扩散炉简介

1、外型形式：单管立式
2、硅片尺寸：156*156方片
4、最高工作温度：1200℃
5、工艺管：优质气炼石英管
6、石英舟：优质立式石英舟
7、恒温区长度：300mm，单次可装载25片156*156方形硅片，背靠背装片模式
8、恒温区精度：±0.5℃ /300mm
9、单点温度稳定性、重复性：±0.5℃ /300mm
10、加热器：可移动式加热器，加热器及石英管可自动升降
11、送取片方式：手动送取片
12、扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
13、温度控制：日本原装 RKC 控温仪，三段控温方式
14、热偶：spike + profile 双热偶控温方式
15、加热元件：瑞典康泰尔电阻丝
16、气路：N 2 、O 2 、H 2 三路气体，气路管道为316L 耐腐蚀内抛光不锈钢管。
17、流量计：进口 MKS 质量流量计
18、气路系统密封性：1×10-7 Pa·M3 /S
19、真空系统：旋片真空泵
20、极限真空度：1.0*10-1 Pa
21、压升率：≤0.7Pa/h
22、真空计：德国 INFICON 品牌
23、控制系统：PLC+触摸屏控制方式，自动/手动切换方便，温度、流量按工艺自动调节
24、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
25、尾气处理：设备配备尾气处理系统，采用溶液吸收法吸收尾气中的有害成分
26、冷水系统：设备配备冷水系统，用于保护密封装置及冷却加热器外壳

北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定制各种：非标立式炉、卧式炉、链式炉、管式炉、高温炉、扩散炉、焊接炉、硒化炉、气氛炉、烤盘炉、扩散炉控制系统、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业电炉、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做，厂家直接供货，欢迎广大客户来电来函。
(北京市立式真空扩散炉厂家)
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