CVD气相沉积炉炉体采用上下“分-体”式结构,内部设计有对流栅格,内部气流容易形成上下对流循环,有利于炉温平衡,温场均匀。采用双层内胆式炉膛结构,中间有气隙隔离,科学合理,炉壳温度较低,使用安全。用进口保温材料做炉衬,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3,节能环保。
CVD气相沉积炉加热元件呈圆周状轴向均匀分布,发热元件内嵌固化在炉衬里,加热时不会因加热元件变形短路,热量辐射也非常均匀.每台炉子出厂时:都经过低温,中温,高温的老化测试,确保产品质量稳定可靠,不合格品严禁出厂。还可以利用该设备的炉体可以在水平轨道上来回移动的方法,实现快速降温.
CVD气相沉积炉采用法兰密封,放、取物料方便快捷;炉体可左右移动,可实现迅速降温,满足材料骤冷骤热的实验要求;炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维无机材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显优于其它国内纤维材料,内嵌式电阻丝采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,经久耐用,最高发热温度可达1200℃。
CVD气相沉积炉
产品型号
MXGH1200-60
温区设置
一温区
加热区长度
440mm(根据客户要求定制)
恒温区长度
200mm
额定功率
6KW
炉膛
进口高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
炉管尺寸
Φ60×2200mm
加热元件
硅碳棒
测温元件
S型热电偶
测温方式
温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序
密封方式
不锈钢法兰挤压密封
标配真空度
≤50Pa(常规机械泵+指针压力表)
≤10Pa(高配机械泵+数显压力表)
≤0.005Pa(分子泵系统)
工作温度
≤1100℃
最高温度
1200℃
恒温精度
±1℃
快速升温速度
30℃/min
推荐升温速度
10℃/min
工作电源
AC220V 50HZ/60HZ
标准配件
防护手套1双;坩埚钳1把;刚玉舟1只;石英管;炉塞;炉勾;6号内六角(法兰专用);法兰一套;配套气管;高温密封圈8个;产品说明书1份;仪表说明书1份;保修证书1份。
可选购附件
炉架,供混气系统,低、中、高真空系统,各种石英坩埚或者刚玉坩埚,刚玉或石英管,高温手套,计算机控制软件,无纸记录仪等
CVD石墨烯系统
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