苏州厂家CVD气相沉积炉
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这处CVD称为等离子体增强
化学气相沉积法（PECVD）
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这处CVD称为等离子体增强
化学气相沉积法（PECVD）
·开户式管式炉-工作温度：1200℃
·炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80
温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器
加热区长度：440mm
·恒温区长度：150mm
·功率：AC 220V 4KW
·等离子射频电源
·输出功率：50-500W最大可调±1％
·RF频率：13.56MHz的±0.0051％稳定可调
·冷却：风冷
·输入功率：1KW AC 220V
·真空度可达10-3torr
·质量流量计-内部装有高精度数字显示
·质量流量计可准确的控制气体流量
·外形尺寸-炉体：550x380x520mm
·供气及真空系统：600x600x597mm
·净重：120KG
(上海市CVD气相沉积炉厂家)
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