深圳cindbest手动探针台厂家直销价
CINDBEST CS系列探针台使用说明书
l 我们将不断对产品进行改进,以适应现代研究技术及检测方法的需求。这种改进将包括机械结构,电学设计及光学性能的改善。因此,这本说明书中所提及的内容及图示因技术进步而做的变更将不另行通知。
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1.概叙
1.1 特点和用途
CS系列 探针台造型小巧,测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
同类案例:清华大学材料系,厦门大学,华侨大学,南京邮电大学,成都电子科技大学,中科院半导体所,中科院苏州纳米研究院,世纪晶圆,方正微电子等数十客户。
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CS探针台能够胜任的测试有:
序号 | 根据测试样品分类 |
| 序号 | 根据应用分类 |
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| 9 | 积分球测试 |
1.2主要性能参数
规格 | ||
Chuck(可选) | 4" 或6" 不锈钢,真空吸附型,独立开关控制 | |
Chuck X-Y轴行程,精度 | 4" x4",10um | |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降(选配) | 4mm | |
Chuck微调升降(选配) | 4mm ,1um精度 | |
Chuck 平整度 | 5um | |
针座平台 | C型设计,可放置8个BT 型针座,可扩展为O型平台 | |
针座平台平整度 | 5 um | |
显微镜Z轴行程,精度 | 2",细调精度0.1um | |
需求 | ||
电力 | 220 VAC, 60Hz | |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
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尺寸 | ||
320mm宽*320mm长*400mm高(带显微镜) | ||
重 20 Kg(带显微镜) | ||
可选附件 | ||
防震桌 | ||
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
光强/波长测试接口部件 | ||
低电流/电容测试 | ||
高压测试 | ||
CCD视频系统 | ||
液晶漏电分析套装 | ||
暗箱 | ||
镀金Chuck |
针座规格 CB-80型 CB-100型 CB-40-T型 CB-40型 尺寸 94mmW x 97mmD x 95mmH 112mmW x 86mmD x 108mmH 73mmW x 48mmD x 68mmH 38mmW x 62mmD x 45mmH 重量 680克 650克 300克 200 克 精度 0.7 Micron 0.7 Micron 2 Micron 10 Micron 牙具 100牙/寸 牙具 100牙/寸 80牙/寸 40牙/寸 X-Y-Z线性行程 13mmX13mmX13mm 13mmX13mmX13mm 13mmX13mmX13mm 13mmX13mmX13mm