太赫兹近场扫描成像系统

背景介绍                                                               >>太赫兹近场扫描成像系统原理介绍

       太赫兹波由于光子能量很低、 具有非破坏性和非等离特性, 使得太赫兹在材料检测和无损探。测方面有着广泛应用. 更为值得提出的是太赫兹成像, 特别是在生物医学方面的成像, 引起了人们的广泛关注。在可见光不能穿透或X射线对比度无法达到要求的情况下, 太赫兹成像则成为最。佳选择。但是传统远场太赫兹成像系统受衍射极限的限制, 最小只能分辨λ/2的尺度, 即对应于1 THz的最小分辨率为0.15 mm。其毫米量级的成像分辨率在一定程度上制约了太赫兹成像技术的应用, 因此, 发展近场探。测和显微技术对于获得更高的分辨率显得尤为重要。 为了打破衍射极限, 提高空间分辨率, Hunsche等实现了一种太赫兹近场成像系统, 将太赫兹逐点成像的分辨率提高到了亚波长量级。 该工作将太赫兹近场成像技术的性能提高到了一个新层次, 为太赫兹成像的研究开辟了新的途径。

太赫兹近场探。测的应用领域及其优势

—— 极高的空间成像分辨率，并且携带THz光谱的独有特性

Tera.hertz Research	Thin-Film Inspection	Chip-Package Testing	Volume Screening
应用领域： ?Meta.materials and Plasmonics ?Passive devices ?Emitters ?Antennas and Waveguides ?Sensor surfaces ?Graphene	应用领域： ?Solar cells ?Displays ?Flexible electronics ?Semiconductors ?Graphene ?Transparent conductors	应用领域： ?Time-domain reflectometry ?Fault isolation ?Packaging level inspection ?3D integration ?Through silicon via (TSV)	应用领域： ?Laser plastic weld inspection ?Fiber inforced polymers ?Chip underfill inspection ?Organic layer screening
Tera-Cube优点： ?Near-field access ?Cost-efficient system extension ?High-sensitivity ?Low-invasiveness ?Polarisation sensitive ?Broadband	Tera-Cube优点： ?Sheet resistance imaging ?Contactless ?Micron-scale resolution ?Large-area scanning ?High-speed scanning	Tera-Cube优点： ?Market lead,ing TDR resolution ?Sub-ps rise-times ?Contactless ?Non-destructive ?Cost advantage overall-electronic systems	Tera-Cube优点： ?Non-destructive ?Fast inspection ?Screening of Vis/IR opaque plastics ?Detection of micron-scale structures

产品简介

      屹持光电推出的THz-Cube太赫兹近场扫描成像系统，突破波长分辨率极限，可以使空间成像分辨率提高至3um。THz-Cube是一个完全自动化的太赫兹近场扫描系统。屹持光电推出的标准的近场扫描系统也可以使用客户自己的飞秒光源驱动，对飞秒光源要求如下：

中心波长: 770 nm ... 820 nm
重复频率: 10 MHz ... 1 GHz
平均功率: 60 mW ... 1.5 W
脉冲宽度: < 150 fs

Tera-Cube

太赫兹近场扫描原理

时域谱&频谱数据

产品特点

—— 高速连续扫描、数据采集；

—— 光学形貌探.测，使得样品横向扫描时可以保持探针和样品表面距离保持一致；

—— 高动态范围锁相探.测

—— 线性偏振切可旋转的太赫兹发.射器，可以做偏振态独立测量

—— 集成CCD相机模块，控制探针头和样品位置

—— 控制软件可自动控制调节样品和探针距离，并进行数据采集和分析

样品测试

     Example plots of the THz near-field distribution measured at a meta.material surface for sensing application.s which is locally loaded with sample material. Left: Peak excitation state, right: 2 ps after excitation.

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