在需要无油泵时,滚轴泵可出色地替代旋片泵。XDS泵的抽速为5.10 和35 m3/hr ,特别是采用了新的轴承护罩,将真空环境与各种润滑剂隔离开,使之不仅完全干燥,而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气表实现;这使该系列的泵能够应用于以前许多不能采用其他滚轴泵的应用场合。爱德华XDS35i涡旋式真空泵干式涡旋泵涡卷泵干式真空泵Edwards真空泵
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