硅片烘箱 晶圆烘箱

型号 HOC-1 800W-OF （单腔体） 规格尺寸 内尺寸 800*640*960（W*D*H）mm 外尺寸 1460*970*1800（W*D*H）mm 温度范围 RT~250℃ 均匀性 ±2℃ Noloading 加热功率 Electric Kantal 15 KW 温度控制器 1. Micro Processor P.I.D Digtal Control Program 30 paten ×99 Segment Model：Program controller UP55A (YOKOKAWA) RS-485，232 2. PLC触屏程序控制器 热电偶 TC-K型 循环风机 Sircocco Fan 180mm 报警装置 超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等 电机 220V/380V-50/60HZ-3P-180W 附件 流量计（L/MIN 200×2) 隔板 3层 安装要求 电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P 水 2-5kg/c㎡ 压缩空气 1-5kg/c㎡ 氮气 1-5kg/c㎡ 单腔体烘箱2规格： 型号 HOC-BEO-1C （单腔体） 规格尺寸 内尺寸 640*640*960（W*D*H）mm 外尺寸 1330*970*1800（W*D*H）mm 温度范围 RT~250℃ 均匀性 ±2℃ Noloading 加热功率 Electric Kantal 15 KW 温度控制器 3. Micro Processor P.I.D Digtal Control Program 30 paten ×99 Segment Model：Program controller UP55A (YOKOKAWA) RS-485，232 4. PLC触屏程序控制器 热电偶 TC-K型 循环风机 Sircocco Fan 180mm 报警装置 超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等 电机 220V/380V-50/60HZ-3P-180W 附件 流量计（L/MIN 200×2) 隔板 3层 安装要求 电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P 水 2-5kg/c㎡ 压缩空气 1-5kg/c㎡ 氮气 1-5kg/c㎡