科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制
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青岛市
产品详情（青岛市科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制厂家）
品牌：
其他
型号：
cl
加工定制：
是
用途：
扩散、氧化、退火、合金及烧结
关键词：青岛市科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制厂家
产品参数
品牌：其他 型号：cl 加工定制：是 用途：扩散、氧化、退火、合金及烧结 炉管数：1-4 口径：90-360mm 工作温度：400-1280摄氏度
产品特点
科研炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 主要技术参数： ◆工艺管数量：1-4管 ◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸） ◆工作温度范围：400～1280℃ ◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm ◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆） ◆结构型式：卧式热壁型 ◆气体流量设定精度:±1％F.S ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s ◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制 ◆控制方式： 工业微机控制
产品实拍
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