碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司
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产品详情（青岛市碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司厂家）
品牌：
其他
型号：
cl
加工定制：
是
用途：
扩散、氧化、退火、合金及烧结
关键词：青岛市碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司厂家
产品参数
品牌：其他 型号：cl 加工定制：是 用途：扩散、氧化、退火、合金及烧结 炉管数：1-4 口径：90-360mm 工作温度：400-1280摄氏度
产品特点
一、设备结构: 1、操作方式:左(右)手操作方式 2、硅片尺寸:圆形6寸片 3、工艺布局:满足客户工艺要求 4、外形:主机1台，主机架为卧式两管。 5、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程 6、送取片方式:手动进出舟。 二、主要技术参数: 1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。 2、工作温度范围:上管:600~1400℃ 下管:200~500℃ 3、恒温区长度及精度:600mm， 上管:800-1400℃.±0.2℃/24h 下管:200-500℃.±0.2℃/24h 4、控制方式:由工控机统一管理工艺 5、气路设置:每管两路气体:100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制大小。 青岛晨立电子有限公司主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
产品实拍
(青岛市碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司厂家)
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