小型蒸镀仪

KT—Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压，电流反馈，样品台旋转，样品高度调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。 　　小型蒸镀仪郑州科探仪器技术资料 　　控制方式 　　 　　7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 　　 　　加热方式 　　 　　数字式功率调整器 　　 　　镀膜功能 　　 　　0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 　　 　　功率 　　 　　≤1200W 　　 　　输出电压电流 　　 　　电压≤12V 电流≤120A 　　 　　真空度 　　 　　机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa 　　 　　挡板类型 　　 　　电控 　　 　　真空腔室 　　 　　石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm 　　 　　样品台 　　 　　可旋转φ62 （可安装φ50基底） 　　 　　样品台转速 　　 　　8转/分钟 　　 　　样品蒸发源调节距离 　　 　　70-140mm 　　 　　蒸发温度调节 　　 　　≤1800℃ 　　 　　支持蒸发坩埚类型 　　 　　钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 　　 　　预留真空接口 　　 　　KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 　　 　　可选配扩展 　　 　　机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 　　数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 　　分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）