3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纤维膜滤芯/,用于电子工业高精度过滤。可用于光致抗蚀剂或高纯度药品的过滤。对光致抗蚀或高纯度药品有耐液性。中空纤维膜技术比折叠滤芯的过滤面积大。
应用领域:193mm光致抗蚀剂,ARC\BARC\TARC,蚀刻液,酒精类,碱类,显像液,各种溶剂。
3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纤维膜滤芯/参数表
滤芯尺寸 | |
材质 | 聚丙烯中空纤维膜 |
过滤精度(微米) | 5nm、0.01μm、0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm |
造型 | LHV软管,SDC\MDC\LDC、HFP滤芯 |
操作温度 | 40℃ |
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