激光源 | 全固态UV激光器,波长355nm |
激光功率 | 10W |
最大加工幅面 | 610mm×460mm(24″×18.1″) |
XY平台最大运行速度 | 50m/min |
定位精度 | ±3µm |
重复精度 | ±1µm |
系统加工精度 | ±20µm |
电源及功率 | 单相220V/50HZ/4KW;三相380 V/50HZ/4KW |
吸尘要求 | 8.6m3/min |
外形尺寸(长x宽x高) | 2210mmx1500mmx1500mm |
重量 | 3500kg |
环境温度 | 20℃±1℃ |
湿度 | 50~60%无结露 |
地基振幅 | <5µm |
振动加速度 | <0.05G |
地面耐压 | 2200kgf/m2 |