供应小型多弧镀膜机
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肇庆市
产品详情（肇庆市小型多弧镀膜机厂家）
- 主要技术指标
| 设备名称 | TGP-600多弧离子镀膜机 | TGP-800多弧离子镀膜机 |
| 真空室尺寸 | Φ600mm×H600mm | Φ800mm×H900mm |
| 可镀空间 | Φ300mm×H300mm | Φ500mm×H600mm |
| 基片台 | 0-20RPM、磁流体轴密封、公自转基片台 | |
| 多弧靶 | 6或9只多弧靶 | |
| 电源 | 多弧电源、偏压电源 | |
| 工件烘烤温度 | 室温至400℃可控可调 | |
| 真空室结构 | 立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷腔室 | |
| 真空系统 | 扩散泵+机械泵+维持泵,从大气至10-3Pa恢复真空时间≤20min | |
| 极限真空 | 5.0×10-4Pa | |
| 控制系统 | 自动抽真空 | |
| 报警及保护 | 对泵、靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施 | |
| 选购件 | 冷却循环水机 | |
(肇庆市小型多弧镀膜机厂家)
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