产品介绍
CS系列探针台造型小巧,测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
4寸手动探针台
适合4英寸以内样品测试
体积小巧,可作为手套箱内探针台
产品参数
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是否有现货: | 是 | 品牌: | cindbest |
加工定制: | 是 | 测量范围: | 100FA-10A |
尺寸: | 400*400mm | 电池种类: | 没电池 |
测量精度: | 100fA | 电源电压: | 220V |
用途: | 半导体产品电学参数测试 | 型号: | CS系列 |
规格: | 4英寸标准探针台 | 商标: | cindbest |
包装: | 木箱 | | |
技术参数
规格 | ||
Chuck(可选) | 4" 或6" 不锈钢,真空吸附型,独立开关控制 | |
Chuck X-Y轴行程,精度 | 4" x4",10um | |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
Chuck 旋转角度微调精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降(选配) | 4mm | |
Chuck微调升降(选配) | 4mm ,1um精度 | |
Chuck 平整度 | 5um | |
针座平台 | C型设计,可放置8个BT 型针座,可扩展为O型平台 | |
针座平台平整度 | 5 um | |
显微镜Z轴行程,精度 | 2",细调精度0.1um | |
需求 | ||
电力 | 220 VAC, 60Hz | |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
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尺寸 | ||
320mm宽*320mm长*400mm高(带显微镜) | ||
重 20 Kg(带显微镜) | ||
可选附件 | ||
激光切割 | ||
加热台 | ||
防震桌 | ||
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 | ||
光强/波长测试接口部件 | ||
射频测试探头和线缆 | ||
有源探头 | ||
低电流/电容测试 | ||
高压测试 | ||
CCD视频系统 | ||
液晶漏电分析套装 | ||
黑箱子 | ||
镀金Chuck |
性能特点
CS探针台能够胜任的测试有:
序号 | 根据测试样品分类 | | 序号 | 根据应用分类 |
1 | 晶圆测试 | | 1 | 射频测试 |
2 | LED测试 | | 2 | 高温环境测试 |
3 | 功率器件测试 | | 3 | 低电流(100fA 级)测试 |
4 | MEMS测试 | | 4 | I-v/c-v/p-iv测试 |
5 | PCB测试 | | 5 | 高压,大电流测试 |
6 | 液晶面板测试 | | 6 | 磁场环境测试 |
7 | 太阳能电池片测试 | | 7 | 辐射环境测试 |
8 | 材料表面电阻率测试 | | 9 | 积分球测试 |
使用说明
将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,最后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。
产品实拍图