Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE Hakuto离子蚀刻机 7.5

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上海市

伯东企业（上海）有限公司

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第 6 年

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产品详情（上海市Hakuto离子蚀刻机 7.5厂家）

品牌：超宝

加工定制：是

机器类型：加香机

用途：家用

原理：超声波

关键词：上海市Hakuto离子蚀刻机 7.5厂家

产品参数

品牌：超宝 加工定制：是 机器类型：加香机 用途：家用 原理：超声波

产品特点

产品描述上海伯东日本原装进口小型 Hakuto 离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工. Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 产品优势： Hakuto 离子蚀刻机主要优点 1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用. 2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用. 3. 配置使用美国考夫曼离子源 4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状. 5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻. 6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面. 7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程. Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 技术参数： Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 技术规格: portant;"> 真空腔 portant;"> 1 set, 主体不锈钢,水冷 portant;"> 基片尺寸 portant;"> 1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷却, portant;"> 离子源 portant;"> ? 8cm 考夫曼离子源 KDC75 portant;"> 离子束入射角 portant;"> 0 Degree～± 90 Degree portant;"> 极限真空 portant;"> ≦1x10-4 Pa portant;"> 刻蚀性能 portant;"> 一致性: ≤±5% across 4” Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 蚀刻速率： Hakuto 离子蚀刻机 IBE 通不同气体的蚀刻速率: NS 离子蚀刻机

产品实拍

伯东企业（上海）有限公司

高低温试验箱离子源制冷剂真空阀门

公司简介

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。