项 目 | 性能指标 | ||
可测圆片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | ||
工作台 | 行程 | | |
结构 | 精密高刚性直线导轨,滚珠丝杠 | ||
分辨率 | | ||
操作方式 | 手轮 | ||
承片台Z向 | 接触/分离 | 行程 | |
承片台θ向 | 微调范围 | ±15 ? | |
吸片盘 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
分档 | (2″、3″)、4″、6″单独真空吸附,三档可选 | ||
显微镜及配件 | 立柱式支架 | 前、后,上、下、旋转,仰角四维可调 | |
显微镜 | 双目体视显微镜45X | ||
照明灯 | LED环形灯 | ||
相关配件 | 打点器 | 可调三维座,驱动DC24V | |
测试探针 | 高弹性钨针 | ||
三维针座 | 磁性吸附式,可调范围:x: ± z: ± | ||
外形尺寸 | | ||
设备重量 | 约 | ||
使用环境 | 电源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
功率 | 0.05kW | ||
真空 | -80 KPa | ||
环境温度 | 15?C-30?C | ||
相对湿度 | <70% | ||